第1週:S1:半導體產業介紹W1-W2
第2週:S1:半導體產業介紹W3-W4
第3週:S2:光阻與光化學W1-W2
第4週:S2:光阻與光化學W3-W4
第5週:S2:光阻與光化學W5-W6
第6週:S3:微影成像原理W1-W2
第7週:S3:微影成像原理W3-W4
第8週:S4:曝光設備技術W1-W2
第9週:S4:曝光設備技術W3-W4
第10週:S4:曝光設備技術W5-W6
第11週:S4:曝光設備技術W7-W8
第12週:S5:極紫外光(EUV)微影技術、光罩技術、Resolution enhancement techniques (RET)W1-W4
第13週:S6:量測技術與SEM實作、統計分析與生產控制W1-W2
第14週:S6:量測技術與SEM實作、統計分析與生產控制W3
第15週:問題與討論/考試時間
第16週:問題與討論/考試時間
第17週:成績結算(認證申請)