第1周:S1:半导体产业介绍W1-W2
第2周:S1:半导体产业介绍W3-W4
第3周:S2:光阻与光化学W1-W2
第4周:S2:光阻与光化学W3-W4
第5周:S2:光阻与光化学W5-W6
第6周:S3:微影成像原理W1-W2
第7周:S3:微影成像原理W3-W4
第8周:S4:曝光设备技术W1-W2
第9周:S4:曝光设备技术W3-W4
第10周:S4:曝光设备技术W5-W6
第11周:S4:曝光设备技术W7-W8
第12周:S5:极紫外光(EUV)微影技术、光罩技术、Resolution enhancement techniques (RET)W1-W4
第13周:S6:量测技术与SEM实作、统计分析与生产控制W1-W2
第14周:S6:量测技术与SEM实作、统计分析与生产控制W3-W4
第15周:问题与讨论/考试时间
第16周:问题与讨论/考试时间
第17周:成绩结算(认证申请)